Study on Process Parameters in CMP Ultra-Thin Stainless Steel Sheet
Study on Process Parameters in CMP Ultra-Thin Stainless Steel Sheet
复制标题
CMP超薄不锈钢板工艺参数研究
DOI：
10.4028/www.scientific.net/amr.1027.58
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发表时间：
2014-10
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Jianxiu Su
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Haifeng Cheng Lijie Ma Jianguo Yao;Jianxiu Su
化学机械抛光（CMP）是不锈钢基片超精密加工中获得超光滑无损伤表面的最有效技术。本文根据前期研究得到的泥浆配方，
Chemical mechanical polishing (CMP) is the most effective technology to achieve ultra-smooth without damage surface in ultra-precision machining of stainless steel substrate. In this paper, according to the slurry ingredients obtained by former research,
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DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
Electronics Process Technology
影响因子：
--
作者：
Liu Yu-ling
通讯作者：
Liu Yu-ling
DOI：
10.1109/jstqe.2004.824112
发表时间：
2004-01-01
影响因子：
4.9
作者：
Sugimoto, A;Ochi, H;Tsuchida, M
通讯作者：
Tsuchida, M
DOI：
10.1109/jstqe.2004.824077
发表时间：
2004-01-01
影响因子：
4.9
作者：
Bardsley, JN
通讯作者：
Bardsley, JN
影响因子：
0.6
作者：
Gwon-Woo Choi;Woo-Sun Lee;Y. Seo
通讯作者：
Gwon-Woo Choi;Woo-Sun Lee;Y. Seo
影响因子：
4.8
作者：
D. Bo
通讯作者：
D. Bo