Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Film.

Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Film.
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薄膜的组合电弧等离子体沉积。

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Jpn. J. Applied Physics 45. No4
影响因子:
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通讯作者:
Akira Shimokohbe
Akira Shimokohbe
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Seiichi Hata;Ryusuke Yamauchi;Junpei Sakurai;Akira Shimokohbe

文献摘要

参考文献

被引文献

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