A Super-High-Frequency Non-Released Silicon Fin Bulk Acoustic Resonator
A Super-High-Frequency Non-Released Silicon Fin Bulk Acoustic Resonator
复制标题
超高频非脱模硅翅片体声谐振器
DOI:
10.1109/mwsym.2019.8700907
复制
发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Tabrizian, Roozbeh
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Ramezani, Mehrdad;Ghatge, Mayur;Felmetsger, Valeriy;Tabrizian, Roozbeh
DOI:
--
发表时间:
2017
期刊:
International Electron Devices Meeting
影响因子:
--
作者:
M. Ramezani;M. Ghatge;R. Tabrizian
通讯作者:
R. Tabrizian