New parallelogram 3D-displacement sensor for micro probing and dimensional metrology
New parallelogram 3D-displacement sensor for micro probing and dimensional metrology
复制标题
用于微探测和尺寸计量的新型平行四边形 3D 位移传感器
DOI：
10.1109/transducers.2017.7994215
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
D. Metz
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Metz
微电子特性研究压阻式传感器
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
Anurak Phataralaoha
通讯作者：
Anurak Phataralaoha
减小用于尺寸计量的 3D 硅基微探针的探针球直径
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
International Conference on Information Control Systems & Technologies
影响因子：
--
作者：
N. Ferreira;A. Brennecke;A. Dietzel;S. Büttgenbach;T. Krah;D. Metz;K. Kniel;Frank Härtig
通讯作者：
Frank Härtig