Study on Microstructure and Thermal Stability of Rf-Plasma Nitridated α-(AlGa)2O3 Grown by Mist-CVD
Study on Microstructure and Thermal Stability of Rf-Plasma Nitridated α-(AlGa)2O3 Grown by Mist-CVD
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雾化CVD生长射频等离子体氮化α-(AlGa)2O3的微观结构和热稳定性研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Hitora
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A. Buma;N. Masuda;T. Araki;Y. Nanishi;M. Oda;T. Hitora
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通讯作者：
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DOI：
10.1002/1521-396x(200112)188:2
发表时间：
2001-11-23
期刊：
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影响因子：
--
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通讯作者：
Karakostas, T