High density multiplication of graphoepitaxy directed block copolymer assembly on two-dimensional lattice template
High density multiplication of graphoepitaxy directed block copolymer assembly on two-dimensional lattice template
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二维晶格模板上图形外延定向嵌段共聚物组装的高密度倍增
DOI：
10.1039/c0sm00238k
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发表时间：
2010-09
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
Ma, Yu-Qiang1, 2
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Tang, Qi-Yun1;Ma, Yu-Qiang1, 2
通过嵌段共聚物（BCP）的定向自组装产生高密度倍增的纳米粒子将显著影响当前的微电子和存储工业。在这里，我们提供了一个二维（2D）稀疏矩形晶格模板来指导嵌段共聚物的平衡形态。衬底的面密度通过自组装的BCP微区乘以34倍，而不失去长程有序。BCP微区的局部间距及其取向可以通过模板间距来调节。在基于模板间距的相图中总结了针对特定应用的最佳模板的选择。所提出的方法提供了一个候选人，以提高当前的半导体器件的性能，特别是超高密度数据存储介质。
Generating high density-multiplied nanopatterns through the directed self-assembly of block copolymers (BCPs) will significantly influence the current microelectronics and storage industries. Here, we provide a two-dimensional (2D) sparse rectangle lattice template to direct the equilibrium morphologies of block copolymers. The areal density of the substrate is multiplied by a factor of 34 through the self-assembled BCP microdomains without losing the long-range order. Local spacings of the BCP microdomains and their orientation can be modulated by template spacings. The selection of optimal templates for specific applications is summarized in the phase diagram based on the template spacings. The suggested approach provides a candidate to enhance the performance of current semiconductor devices, especially ultrahigh-density data storage media.
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