Material structure and piezoresistive properties of niobium containing diamond-like-carbon films
Material structure and piezoresistive properties of niobium containing diamond-like-carbon films
复制标题
含铌类金刚石薄膜的材料结构及压阻性能
DOI：
10.1016/j.surfcoat.2018.10.008
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发表时间：
2019
影响因子：
5.4
通讯作者：
G. Bräuer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Grein;R. Bandorf;K. Schiffmann;G. Bräuer
采用反应高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)工艺，在Ar/乙炔气氛中用Nb靶沉积了含Nb类金刚石(Nb-DLC)薄膜。电学性能的研究表明，它们非常适合作为应变计的传感器材料，测量系数提高到35.5，并且有可能将电阻温度系数(TCR)调整到接近零的值。对这种材料的结晶度、化学成分和形貌进行结构分析，可以深入了解结构和压阻性能之间的关系。结合不同的测量结果，建立了与Nb含量相关的结构区模型。
Niobium-containing diamond-like carbon (Nb-DLC) films were deposited in a reactive high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) process, using a niobium target in an argon/acetylene atmosphere. Investigations of the electrical properties revealed their good suitability to serve as sensor material in strain gauges, with an elevated gauge factor of 35.5 and the possibility to adapt the temperature coefficient of the electrical resistance (TCR) to values near zero. Structure analysis of the crystallinity, chemical composition, and morphology of this material give insights of the correlations between structure and piezoresistive properties. A structure zone model in relation to the Nb content was developed, combining the results of the different measurements.
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