Fast prototyping of microtubes with embedded sensing elements made possible with an inkjet printing and rolling process
Fast prototyping of microtubes with embedded sensing elements made possible with an inkjet printing and rolling process
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通过喷墨打印和滚压工艺，可以快速制作带有嵌入式传感元件的微管原型
DOI：
10.1088/1361-6439/aa7a61
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发表时间：
2018
影响因子：
2.3
通讯作者：
Korvink
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Meissner;MacKinnon;Luchnikov;Korvink
我们提出了一种新的制造工艺，以创建亚毫米微米管嵌入导电图案。基于常见的2D图案化技术和专门设计的轧制工艺，它实现了具有潜在复杂的嵌入式电气，机械和微流体功能的3D结构。我们展示了在亚毫米管周围创建自由形式的电导体的优势，例如管集成微加热器所需的。2D图案的生产是灵活的，我们证明了增材制造（快速，可访问）和传统的微制造工艺（洁净室，晶圆级）都与轧制工艺兼容。为了使轧制工艺适应高频应用，图案化的轨道可以直接电镀，具有良好的附着力，以降低电阻。首次实现了鞍形结构的核磁共振微探测器。特色100
We present a new fabrication process to create sub-mm micro tubes with embedded conductive patterns. Based on common 2D patterning techniques and a specially designed rolling process, it achieves 3D structures featuring potentially complex, embedded electrical, mechanical and micro-fluidic functions. We demonstrate the advantage in creating freeform electrical conductors around sub-mm tubes, such as needed for a tube-integrated micro heater. The production of the 2D patterns is flexible, and we demonstrate that both additive manufacturing (fast, accessible) and conventional micro-fabrication processes (cleanroom, wafer-scale) are compatible with the rolling process. To adapt the rolling process for high frequency applications, the patterned tracks can be directly electroplated, with good adhesion, to reduce electrical resistance. For the first time, we achieve saddle-geometry NMR micro detectors. They feature 100
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