A micromachined ionic liquid ion source array
A micromachined ionic liquid ion source array
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微机械离子液体离子源阵列
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroki Kuwano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toma Mana;Tanaka Ryo;Tawa Keiko;Hiroki Kuwano
用于硅反应加工的离子液体离子源
影响因子：
2.3
作者：
S. Guilet;C. Perez;P. Jégou;P. Lozano;J. Giérak
通讯作者：
J. Giérak
用于灵活并发 MEMS 工艺的离子液体微离子源阵列
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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作者：
Tatsuya Suzuki;Motoaki Hara;Hiroyuki Oguchi;and Hiroki Kuwano;Tatsuya Suzuki
通讯作者：
Tatsuya Suzuki