Development of High Performance Wheels for Chemo-Mechanical-Grinding
Development of High Performance Wheels for Chemo-Mechanical-Grinding
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开发用于化学机械磨削的高性能砂轮
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jun Shimizu and Hiroshi Eda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshiaki Tashiro;Masaaki Kenmochi;Bahman Soitani;Tatsuya Tsuruga;Libo Zhou;Jun Shimizu and Hiroshi Eda
使用两种波长的光散射同时测量硅晶片中每个缺陷的尺寸和深度：(OSDA)。
DOI：
10.1380/jsssj.22.323
发表时间：
2001
期刊：
Hyomen Kagaku
影响因子：
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作者：
K. Takeda
通讯作者：
K. Takeda