Uncooled, sentisitve terahertz bolometer using doubly clamped MEMS beam resonators

Uncooled, sentisitve terahertz bolometer using doubly clamped MEMS beam resonators
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使用双钳位 MEMS 光束谐振器的非冷却、灵敏太赫兹测辐射热计

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
K. Hirakawa
K. Hirakawa
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y. Zhang;Y. Watanabe;S. Hosono;N. Nagai;and K. Hirakawa;K. Hirakawa;K. Hirakawa

文献摘要

参考文献

被引文献

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