Uncooled, sentisitve terahertz bolometer using doubly clamped MEMS beam resonators
Uncooled, sentisitve terahertz bolometer using doubly clamped MEMS beam resonators
复制标题
使用双钳位 MEMS 光束谐振器的非冷却、灵敏太赫兹测辐射热计
DOI:
--
复制
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
K. Hirakawa
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Y. Zhang;Y. Watanabe;S. Hosono;N. Nagai;and K. Hirakawa;K. Hirakawa;K. Hirakawa
影响因子:
4.7
作者:
C. S. Kim;S. M. Dickinson
通讯作者:
S. M. Dickinson
影响因子:
2.3
作者:
K. Onomitsu;M. Mitsuhara;H. Yamamoto;and H. Yamaguchi
通讯作者:
and H. Yamaguchi