Ultrahigh-Q Micromechanical Resonators by Using Epitaxially Induced Tensile Strain in GaNAs

Ultrahigh-Q Micromechanical Resonators by Using Epitaxially Induced Tensile Strain in GaNAs
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利用 GaN 中外延诱导拉伸应变的超高 Q 微机械谐振器

DOI:
10.7567/apex.6.111201
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发表时间:
2013
影响因子:
2.3
通讯作者:
and H. Yamaguchi
and H. Yamaguchi
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
K. Onomitsu;M. Mitsuhara;H. Yamamoto;and H. Yamaguchi

文献摘要

参考文献

被引文献

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通讯作者: and H. Yamaguchi