Mass Detection Using Capacitive Resonant Silicon Sensor
Mass Detection Using Capacitive Resonant Silicon Sensor
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使用电容式谐振硅传感器进行质量检测
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.-J.Kim et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Funaki;S.Matsuzaki;T.Kimoto;T.Hikihara;S.-J.Kim et al.
模拟吸附和解吸表面分子引起的谐振器频率波动
DOI：
10.1109/58.63111
发表时间：
1990
期刊：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
影响因子：
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作者：
Yook;J. Vig
通讯作者：
J. Vig
航天飞机轨道上的半导体表面物理研究
DOI：
10.1116/1.569369
发表时间：
1977
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
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作者：
I. Lindau;W. Spicer
通讯作者：
W. Spicer
影响因子：
4
作者：
Kim, SJ;Ono, T;Esashi, M
通讯作者：
Esashi, M