Direct Bonding of Polymer to Glass Wafers using Surface Activated Bonding (SAB) Method at Room Temperature
Direct Bonding of Polymer to Glass Wafers using Surface Activated Bonding (SAB) Method at Room Temperature
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室温下使用表面活化键合 (SAB) 方法将聚合物直接键合到玻璃晶圆上
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshiie Matsumoto and Masashi Nakano.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tadatomo Suga;Takashi Matsumae;Yoshiie Matsumoto and Masashi Nakano.
溅射薄膜沉积期间的金属接合
DOI：
10.1116/1.581319
发表时间：
1998
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
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作者：
T. Shimatsu;R. Mollema;D. Monsma;E. Keim;J. Lodder
通讯作者：
J. Lodder