エキシマレーザー照射による h-BN からのアブレーションプラズマの特性
エキシマレーザー照射による h-BN からのアブレーションプラズマの特性
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准分子激光辐照六方氮化硼烧蚀等离子体的特性
DOI：
10.3131/jvsj2.52.369
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
淳 横山
中科院分区：
文献类型：
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作者：
弘則 大場;盛久 佐伯;文孝 江坂;洋一 山田;博之 山本;淳 横山
在高真空条件下，研究了激光功率密度为0.1 ~ 3.2×108 W/cm ~ 2的紫外（λ=308 nm）激光烧蚀热压六方氮化硼（h-BN）靶产生的羽流等离子体特性。烧蚀物种的时间分辨检测已实现通过使用四极质谱仪和离子探针。烧蚀态B+的平均动能远大于B的平均动能，并随激光功率密度的增加而增加，而中性态B的加速受到限制。随着激光功率密度的增加，等离子体的电离度在0.1%~ 15%之间变化。离子通量和总粒子通量的角分布可以用余弦或双余弦函数拟合，并且强烈依赖于激光功率密度。
Characteristics of the plume plasma produced by UV (λ=308 nm) laser ablation of a hot-pressed hexaganol boron nitride (h-BN) target have been investigated in a high vacuum at a laser power density ranging from 0.1 to 3.2×108 W/cm2. Time-resolved detection of the ablated species has been achieved by using a quadrupole mass spectrometer and an ion probe. The average kinetic energy of ablated B+ is much larger than that of B, and increases with an increase in the laser power density, whereas the acceleration of neutral B is limited. The ionization degree in the plasma varies from 0.1 to 15% with increasing laser power density. The angular distributions of the ion flux and the total particle flux can be fitted by a cosine or a bicosine function and strongly depend on the laser power density.
影响因子：
56.9
作者：
Kubota, Yoichi;Watanabe, Kenji;Taniguchi, Takashi
通讯作者：
Taniguchi, Takashi