Quantitative phase contrast imaging using a Nomarski microscope with variable shear distance
Quantitative phase contrast imaging using a Nomarski microscope with variable shear distance
复制标题
使用具有可变剪切距离的 Nomarski 显微镜进行定量相差成像
DOI：
10.1117/12.2212757
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Bergmann
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Falldorf;Kötter;Bergmann
我们提出了一个Nomarski显微镜与可变的剪切距离，允许确定完整的复杂的调制功能，包括定量相衬，一个标本施加在入射光，而不仅仅是它的微分相衬。该系统保留了Nomarski设置在相干性和稳定性方面的所有有益特性。因此，我们可以测量定量的相位衬度下科勒照明与全聚光器孔径和没有振动隔离。我们将解释该系统，分析一致性要求，并提供MEMS检测领域的示例。
We present a Nomarski microscope with variable shear distance that allows for determining the full complex modulation function including the quantitative phase contrast that a specimen imposes on incident light, rather than only its differential phase contrast. The system preserves all beneficial properties of the Nomarski setup with respect to coherence and stability. Hence, we can measure the quantitative phase contrast under Köhler illumination with full condenser aperture and without vibration isolation. We will explain the system, give an analysis of the coherence requirements and provide an example from the field of MEMS inspection.
登录
查看更多内容
影响因子：
3.6
作者：
Fu D;Oh S;Choi W;Yamauchi T;Dorn A;Yaqoob Z;Dasari RR;Feld MS
通讯作者：
Feld MS
基于空间光调制器的相位恢复光学系统设计
影响因子：
1.9
作者：
C. Falldorf;M. Agour;C. Kopylow;R. Bergmann
通讯作者：
R. Bergmann
结合 Murty 干涉仪和全息校正的微分干涉对比系统
DOI：
--
发表时间：
1988
期刊：
影响因子：
--
作者：
K. Matsuda;M. Namiki;T. Barnes
通讯作者：
T. Barnes
影响因子：
1.9
作者：
Zhongyao Liu;Xiaoma Dong;Qianghua Chen;Chunyong Yin;Yuxian Xu;Y. Zheng
通讯作者：
Zhongyao Liu;Xiaoma Dong;Qianghua Chen;Chunyong Yin;Yuxian Xu;Y. Zheng
DOI：
--
发表时间：
1965
期刊：
影响因子：
--
作者：
K. Haines;B. Hildebrand
通讯作者：
B. Hildebrand