Low-Temperature NH3-Free Silicon Nitride Platforms for Integrated Photonics
Low-Temperature NH3-Free Silicon Nitride Platforms for Integrated Photonics
复制标题
用于集成光子学的低温无 NH3 氮化硅平台
DOI：
10.1109/group4.2018.8478748
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Bucio T
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Bucio T
影响因子：
3.8
作者：
Koonath, Prakash;Jalali, Bahram
通讯作者：
Jalali, Bahram