Design, fabrication, and vacuum package process for high performance of 2D scanning MEMS micromirror
Design, fabrication, and vacuum package process for high performance of 2D scanning MEMS micromirror
复制标题
高性能 2D 扫描 MEMS 微镜的设计、制造和真空封装工艺
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.M.Chu;T.Sasaki;K.Hane
影响因子：
4.6
作者：
Hoang Manh Chu;Hane, Kazuhiro
通讯作者：
Hane, Kazuhiro