Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system
Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system
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利用转盘式溅射系统制备金属玻璃薄膜的新方法
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Shimokohbe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J.Sakurai;S.Hata;A.Shimokohbe
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DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys 42
影响因子：
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作者：
Yoshisato YOKOYAMA;Takashi FUKUSHIGE;Seiichi HATA;Kazuya MASU;Akira SHIMOKOHBE
通讯作者：
Akira SHIMOKOHBE
OS06W0457 PdCuSi薄膜金属玻璃电阻率的降低
DOI：
10.1299/jsmeatem.2003.2._os06w0457
发表时间：
2003
期刊：
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影响因子：
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作者：
J. Sakurai;S. Hata;A. Shimokohbe
通讯作者：
A. Shimokohbe
由薄膜金属玻璃制成的微圆顶形状结构
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
Micro System Technology 2003
影响因子：
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作者：
Seiichi Hata;Takashi Yamanaka;Jyunpei Sakurai;Akira Shimokohbe
通讯作者：
Akira Shimokohbe
气态微结构辐射探测器制造新材料SU-8的耐辐射性能研究
影响因子：
2.9
作者：
M. Key;V. Cindro;M. Lozano
通讯作者：
M. Lozano