Micro dome shape structures made of thin film metallic glass
Micro dome shape structures made of thin film metallic glass
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由薄膜金属玻璃制成的微圆顶形状结构
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Shimokohbe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Seiichi Hata;Takashi Yamanaka;Jyunpei Sakurai;Akira Shimokohbe
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钨的选择性化学气相沉积
DOI：
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发表时间：
1972
期刊：
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影响因子：
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作者：
J. Cuomo;F. A. Glaski
通讯作者：
F. A. Glaski
通过立体光刻制造三维微集成流体系统（MIFS）
DOI：
10.1109/memsys.1994.555588
发表时间：
1994
期刊：
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems
影响因子：
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作者：
K. Ikuta;K. Hirowatari;T. Ogata
通讯作者：
T. Ogata
用于微米级机器人的可逆 SMA 执行器
DOI：
10.1109/memsys.1990.110279
发表时间：
1990
期刊：
IEEE Proceedings on Micro Electro Mechanical Systems, An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots.
影响因子：
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作者：
K. Kuribayashi;M. Yoshitake;S. Ogawa
通讯作者：
S. Ogawa
用于高密度封装的新型倒装芯片技术
DOI：
10.1109/ectc.1996.550814
发表时间：
1996
期刊：
1996 Proceedings 46th Electronic Components and Technology Conference
影响因子：
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作者：
D.L. Smith;A. Alimonda
通讯作者：
A. Alimonda