Development and application of highly charged ion source
Development and application of highly charged ion source
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高荷电离子源的研制及应用
DOI：
10.1016/j.vacuum.2009.02.013
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
H. Sakaue
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Sakurai;H. Onishi;K. Asakura;M. Tona;H. Watanabe;N. Nakamura;S. Ohtani;T. Terui;S. Mashiko;H. Sakaue
使用高电荷离子开发用于纳米工艺的电子束离子源
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B 235
影响因子：
--
作者：
M.Sakurai;F.Nakajima;T.Fukumoto;N.Nakamura;S.Ohtani;S.Mashiko;H.A.Sakaue.
通讯作者：
H.A.Sakaue.
DOI：
10.1016/j.nimb.2007.01.060
发表时间：
2007-04
影响因子：
1.3
作者：
M. Sakurai;M. Tona;Satoshi Takahashi;H. Watanabe;N. Nakamura;Nobuo Yoshiyasu;C. Yamada;S. Ohtani;H. Sakaue;Y. Kawase;K. Mitsumori;T. Terui;S. Mashiko
通讯作者：
M. Sakurai;M. Tona;Satoshi Takahashi;H. Watanabe;N. Nakamura;Nobuo Yoshiyasu;C. Yamada;S. Ohtani;H. Sakaue;Y. Kawase;K. Mitsumori;T. Terui;S. Mashiko