6-axis force-torque sensor chip composed of 16 piezoresistive beams
6-axis force-torque sensor chip composed of 16 piezoresistive beams
复制标题
16根压阻梁组成的6轴力扭矩传感器芯片
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kiyoshi Matsumoto and Isao Shimoyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihito Nakai;Yasuhiko Morishima;Kiyoshi Matsumoto and Isao Shimoyama
CMOS 集成硅/玻璃粘合 3D 力/扭矩传感器
DOI：
10.1109/memsys.2012.6170112
发表时间：
2012
期刊：
2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
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作者：
J. Handwerker;P. Gieschke;M. Baumann;O. Paul
通讯作者：
O. Paul