Fabrication of High-Aspect-Ratio Pillars by Proton Beam Writing and Application to DEP-Devices
Fabrication of High-Aspect-Ratio Pillars by Proton Beam Writing and Application to DEP-Devices
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通过质子束写入制造高纵横比支柱及其在 DEP 器件中的应用
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Furuta;N.Uchiya;H.Nishikawa;J.Haga;M.Oikawa;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya;R.Nakao;S.Uchida
使用具有极高电压稳定性的单端加速器的亚微米微束装置
DOI：
10.1016/0168-583x(95)00399-1
发表时间：
1995
影响因子：
1.3
作者：
T. Kamiya;T. Suda;R. Tanaka
通讯作者：
R. Tanaka
通过质子束写入对硅上的抗蚀剂进行微加工
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B260
影响因子：
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作者：
N.Uchiya;T.Harada;M.Murai;H.Nishikawa;J.Haga;T.Sato;Y.Ishii and T.Kamiya
通讯作者：
Y.Ishii and T.Kamiya