Investigations of morphology and formation mechanism of laser-induced annular/droplet-like structures on SiGe film.
Investigations of morphology and formation mechanism of laser-induced annular/droplet-like structures on SiGe film.
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SiGe薄膜上激光诱导环形/液滴状结构的形貌和形成机制研究。
DOI：
10.1364/oe.21.009923
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发表时间：
2013-04
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
Li, Jun
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Qi, Dongfeng;Liu, Hanhui;Gao, Wei;Chen, Songyan;Li, Cheng;Lai, Hongkai;Huang, Wei;Li, Jun
我们描述了纳秒脉冲宽度的KrF准分子激光在SiGe薄膜上制备纳米结构的过程，并发现激光照射条件与纳米结构之间更直接、更清晰的关系。在KrF准分子脉冲激光束(100 mJ/cm(2))以不同入射角照射后，首先在SiGe薄膜上的散射点周围获得了完美的环形纳米结构。由于散射光与入射光束之间的光学干涉，环形结构的不同形状与不同的能量分布有关。随着激光能量的增加，发现脉冲能量的阈值（230 mJ/cm(2)），超过该阈值，液滴状形态完全取代了表面环形结构。无序形貌主要是由入射光束的热效应引起的。
We describe the fabrication of nanostructures on SiGe film by KrF excimer laser with nanosecond pulse width, and find a more direct and clear relationship between the laser irradiation conditions and the nanoscale structures. Perfect annular nanostructures around scattering points on the SiGe film are firstly obtained after the irradiation of a KrF excimer pulse laser beam (100 mJ/cm(2)) at different incident angles. The different shapes of annular structures are related to different energy distributions due to the optical interference between the scattered light and the incident beam. As laser energy increases, a threshold of pulse energy (230 mJ/cm(2)) is found, above which a droplet-like morphology completely replacing the surface annular structures. And the disorder morphology is mainly caused by the thermal effect of the incident beam.
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影响因子：
8.6
作者：
S. Brueck;D. Ehrlich
通讯作者：
S. Brueck;D. Ehrlich
影响因子：
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作者：
Zhao, Quan-Zhong;Malzer, Stefan;Wang, Li-Jun
通讯作者：
Wang, Li-Jun
影响因子：
3.2
作者：
Y. Lu;W. Choi;Y. Aoyagi;A. Kinomura;K. Fujii
通讯作者：
Y. Lu;W. Choi;Y. Aoyagi;A. Kinomura;K. Fujii
影响因子：
3.2
作者：
Animesh Jain;V. N. Kulkarni;D. Sood;J. S. Uppal
通讯作者：
Animesh Jain;V. N. Kulkarni;D. Sood;J. S. Uppal
DOI：
10.1103/physrevb.40.2031
发表时间：
1989-08
期刊：
Physical review. B, Condensed matter
影响因子：
--
作者：
Clark;Emmony
通讯作者：
Clark;Emmony