Nanoscale Dry Processes for Controlling Atomic Layer Reactions and Fabrication of High-Aspect-Ratio Features
Nanoscale Dry Processes for Controlling Atomic Layer Reactions and Fabrication of High-Aspect-Ratio Features
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用于控制原子层反应和制造高纵横比特征的纳米级干法工艺
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Masaru Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenji Ishikawa;Thi-Thuy-Nga Nguye;Takayoshi Tsutsumi;S-N Hsaio;Makoto Sekine;and Masaru Hori
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发表时间：
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影响因子：
--
作者：
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通讯作者：
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