Characterization and analysis of DLC films with different thickness deposited by RF magnetron PECVD
Characterization and analysis of DLC films with different thickness deposited by RF magnetron PECVD
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射频磁控管PECVD沉积不同厚度DLC薄膜的表征与分析
DOI：
10.1007/s12598-012-0491-x
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发表时间：
2012-03
期刊：
影响因子：
8.8
通讯作者：
Mu-sen Li
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yu-Jie Huang;Qi Wang;Mei Wang;Zhen-yi Fei;Mu-sen Li
类金刚石薄膜具有与金刚石晶体相似的优异的机械和化学性能，作为保护涂层有着广泛的应用。迄今为止，采用各种方法沉积存款类金刚石薄膜。在本研究中，
Diamond-like carbon (DLC) films have excellent mechanical and chemical properties similar to those of crystalline diamond giving them wide applications as protective coatings. So far, a variety of methods are employed to deposit DLC films. In this study,
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