Spray coating of photoresist for three dimensional micromachining
Spray coating of photoresist for three dimensional micromachining
复制标题
三维微加工光刻胶喷涂
DOI：
--
复制
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Hane
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Sasaki;S. Nogawa;K. Hane
影响因子：
56.9
作者：
JACKMAN, RJ;WILBUR, JL;WHITESIDES, GM
通讯作者：
WHITESIDES, GM