Positive-Negative Inversion of Resist Materials Induced by High LET Radiation
Positive-Negative Inversion of Resist Materials Induced by High LET Radiation
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高 LET 辐射引起的抗蚀剂材料的正负反转
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tomoko Gowa Oyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Abe;et al.;Tomoko Gowa Oyama;渡辺寛子;Tomoko Gowa Oyama;渡辺寛子;Tomoko Gowa Oyama;Tomoko Gowa Oyama;渡辺寛子;渡辺寛子;Tomoko Gowa Oyama
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东京大学用于研究辐射效应和辐射化学的新型离子加速器设施
DOI：
10.1016/1359-0197(89)90045-3
发表时间：
1989
期刊：
影响因子：
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作者：
N. Kouchi;S. Tagawa;H. Kobayashi;Y. Tabata
通讯作者：
Y. Tabata
辐射对聚硅烷中空穴漂移迁移率的影响
影响因子：
2.9
作者：
S. Seki;H. Shibata;Y. Yoshida;K. Ishigure;S. Tagawa
通讯作者：
S. Tagawa
固体聚二甲基硅烷γ-辐射解中甲硅烷基的观察
影响因子：
2.9
作者：
S. Seki;S. Tagawa;K. Ishigure;K. Cromack;A. Trifunac
通讯作者：
A. Trifunac
离子束和电子束对聚甲基苯基硅烷的辐射效应
影响因子：
2.9
作者：
S. Seki;H. Shibata;H. Ban;K. Ishigure;S. Tagawa
通讯作者：
S. Tagawa