Silicon on PDMS' : SOI Extra Thin Active Layer Transfered to Organic Film for Flexible Applications

Silicon on PDMS' : SOI Extra Thin Active Layer Transfered to Organic Film for Flexible Applications
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PDMS 上的硅:SOI 超薄有源层转移至有机薄膜以实现灵活应用

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems (MEMS 2007) Jan.22-25
影响因子:
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通讯作者:
Tadashi Shibata
Tadashi Shibata
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Sakda Srisomrun;Yoshio Mita;Kazunori Hoshino;Masakazu Sugiyama;Tadashi Shibata

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: 10.1007/s00542-002-0264-9
发表时间: 2001
期刊: Microsystem Technologies
影响因子: --
作者:
E. Jung;A. Ostmann;D. Wojakowski;C. Landesberger;R. Aschenbrenner;H. Reichl
通讯作者: H. Reichl