Shear force detector using piezo-resistive beams with sidewall-doping
Shear force detector using piezo-resistive beams with sidewall-doping
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使用侧壁掺杂压阻梁的剪切力检测器
DOI：
10.1109/memsys.2012.6170259
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
I. Shimoyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Takahashi;A. Nakai;K. Matsumoto;I. Shimoyama
本文报道了一种利用侧壁掺杂的压阻梁嵌入弹性体的剪切力检测器。这些梁使用SOI（绝缘体上硅）晶片的20 μ m厚的器件Si层形成。剪切力是通过侧壁的拉伸/压缩引起的阻力变化来测量的。梁的尺寸为180 μm × 15 μm × 20 μm（长×宽×厚）。使用这些剪切力检测器，可以制造三轴触觉传感器。
This paper reports on a shear force detector using piezo-resistive beams with sidewall doping embedded in elastic body. These beams are formed using a 20 μm-thick device Si layer of an SOI (Silicon on Insulator) wafer. Shear force is measured by the resistance change due to the extension/compression of the sidewall. The size of the beams is 180 μm × 15 μm × 20 μm (length × width × thickness). Using these shear force detectors, a triaxial tactile sensor can be fabricated.
DOI：
10.1073/pnas.0401918101
发表时间：
2004-07-06
影响因子：
11.1
作者：
Someya, T;Sekitani, T;Sakurai, T
通讯作者：
Sakurai, T
快速热扩散侧壁掺杂三轴力测量悬臂梁
DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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作者：
Yuichiro Aoyama;Nguyen Binh-Khiem;Kentaro Noda;Yusuke Takei;Tetsuo Kan;Eiji Iwase;Kiyoshi Matsumoto;Isao Shimoyama
通讯作者：
Isao Shimoyama