Towards medium vacuum measurements using an optical pressure standard
Towards medium vacuum measurements using an optical pressure standard
复制标题
使用光学压力标准进行中真空测量
DOI：
10.1016/j.measen.2021.100339
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Kobata Tokihiko
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takei Yoshinori;Telada Souichi;Yoshida Hajime;Bitou Youichi;Kobata Tokihiko
使用法布里-珀罗(FP)腔的光学压力标准(OPS)可以测量宽压力范围和高精度。日本国家计量研究所(NMIJ)正在开发一种压力范围为1pa-100kpa的OPS。在这项研究中，报告了OPS的目标不确定度，它目前的规格范围从40kPa到120kpa，以及在100Pa以下测量的挑战。此外，还考虑了解决挑战以实现目标不确定性的方法。
Optical pressure standards (OPS) using Fabry-Perot (FP) cavities can measure a wide pressure range with high accuracy. National metrology institute of Japan (NMIJ) is developing an OPS for a pressure range of 1 Pa–100 kPa. In this study, the target uncertainty of the OPS, its current specifications in the range from 40 kPa to 120 kPa, and the challenges for measuring below 100 Pa are reported. In addition, the methods for solving the challenges to achieve the target uncertainty is considered.
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