Photoluminescience evaluation of defects generated during SiGe-on-insulator virtual substrate fabrication : Temperature ramping process

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绝缘体上 SiGe 虚拟衬底制造过程中产生的缺陷的光致发光科学评估:升温过程

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Applied Physics Letter 89・4
影响因子:
--
通讯作者:
M.Nakamae
M.Nakamae
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
D.Wang;S.Ii;H.Nakashima;K.Ikeda;H.Nakashima;K.Matsumoto;M.Nakamae

文献摘要

参考文献

被引文献

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