Topology Optimization for Micro Rotational Mirror Design and Safe Manufacturing
Topology Optimization for Micro Rotational Mirror Design and Safe Manufacturing
复制标题
微旋转镜设计和安全制造的拓扑优化
DOI：
10.1109/memsys.2009.4805559
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
U Wallrabe
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T Chen;JG Korvink;U Wallrabe
MEMS 深各向异性硅蚀刻加工的进展
DOI：
--
发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
--
作者：
H. Ashraf;J. Bhardwaj;S. Hall;J. Hopkins;A. Hynes;I. Johnston;S. McAuley;G. Nicholls;Lilian Atabo;M. Ryan;S. Watcham
通讯作者：
S. Watcham