Optical coherence tomography (OCT) with 2 nm axial resolution using a compact laser plasma soft X-ray source.
Optical coherence tomography (OCT) with 2 nm axial resolution using a compact laser plasma soft X-ray source.
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DOI：
10.1038/s41598-018-26909-0
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发表时间：
2018-05-31
影响因子：
4.6
通讯作者：
Fiedorowicz H
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Wachulak P;Bartnik A;Fiedorowicz H
我们提出了光学相干层析成像（OCT）与2 nm的轴向分辨率使用宽带软X射线辐射（SXR）从一个紧凑的激光等离子体光源。采用双流喷气靶技术，利用纳秒激光脉冲与气体靶相互作用形成激光等离子体。该源被优化用于在2至5 nm光谱范围内从氪/氦气体喷吹目标的有效SXR发射，包括从2.3 nm至4.4 nm波长的整个“水窗”光谱范围。SXR辐射的相干参数允许具有10 nm周期和40%底层厚度与周期比的体多层结构的OCT测量，具有约2 nm的轴向分辨率，并检测高达约100 nm深度的多层界面。实验数据与理想多层膜结构的OCT模拟结果一致。在本文中，详细的信息源，其优化，光学系统，OCT测量和结果的介绍和讨论。
We present optical coherence tomography (OCT) with 2 nm axial resolution using broadband soft X-ray radiation (SXR) from a compact laser plasma light source. The laser plasma was formed by the interaction of nanosecond laser pulses with a gaseous target in a double stream gas puff target approach. The source was optimized for efficient SXR emission from the krypton/helium gas puff target in the 2 to 5 nm spectral range, encompassing the entire “water-window” spectral range from 2.3 nm to 4.4 nm wavelength. The coherence parameters of the SXR radiation allowed for the OCT measurements of a bulk multilayer structure with 10 nm period and 40% bottom layer thickness to period ratio, with an axial resolution of about 2 nm and detect multilayer interfaces up to a depth of about 100 nm. The experimental data are in agreement with OCT simulations performed on ideal multilayer structure. In the paper, detailed information about the source, its optimization, the optical system, OCT measurements and the results are presented and discussed.
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Spiller, EA
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