Quantitative topographic imaging using a near-field scanning microwave microscope
Quantitative topographic imaging using a near-field scanning microwave microscope
复制标题
使用近场扫描微波显微镜进行定量形貌成像
DOI：
10.1063/1.121182
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发表时间：
1998
影响因子：
4
通讯作者：
F. Wellstood
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
C. P. Vlahacos;D. Steinhauer;S. Dutta;B. J. Feenstra;S. Anlage;F. Wellstood
我们描述了一种利用扫描近场微波显微镜提取地形信息的技术。通过监测系统谐振频率的移动，我们得到了均匀导电金属表面的定量形貌图像。在9.572μ频率下，我们的技术允许在30μm的间隔下进行约55 nm的高度分辨。我们展示了不均匀的导电样品的地形图像，并将系统的高度响应和灵敏度与理论预期进行了比较。
We describe a technique for extracting topographic information using a scanning near-field microwave microscope. By monitoring the shift of the system’s resonant frequency, we obtain quantitative topographic images of uniformly conducting metal surfaces. At a frequency of 9.572 GHz, our technique allows a height discrimination of about 55 nm at a separation of 30 μm. We present topographic images of uneven, conducting samples and compare the height response and sensitivity of the system with theoretical expectations.
影响因子：
1.6
作者：
Cho, YS;Kirihara, A;Saeki, T
通讯作者：
Saeki, T