High bandwidth back-scanning mirror for coherent chirped pulse lidar imaging
High bandwidth back-scanning mirror for coherent chirped pulse lidar imaging
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用于相干啁啾脉冲激光雷达成像的高带宽后扫描镜
DOI：
10.1117/12.2610861
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Dickensheets, David L.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Oliver, Andrew D.;Eichhorn, Adam X.;Hampshire, Samantha J.;Dickensheets, David L.
本文报道了一种用于步进凝视激光雷达的单轴非谐振式二次扫描镜。反射镜的谐振频率为61千赫，直径为2毫米，角扫描范围相当于10个780纳米的可分辨点。手工计算和有限元模拟结果与实验结果吻合较好。镜面厚度为300 μm，通过放置在其下3 μm的静电力电极来实现扭转运动。模拟和测量表明，静态和动态镜面变形仍然低于衍射极限。
This paper reports a secondary scan mirror for step-stare lidar applications that is single axis and operates in a non resonant mode. The mirror has a resonant frequency of 61 kHz and a diameter of 2 mm with angular scan range equivalent to 10 resolvable spots at 780 nm. Hand calculations and finite element simulations showed good correlation with experimental results. The mirror, which is 300 μm thick, achieves torsional motion through electrostatic force electrodes placed 3 µm beneath it. Simulations and measurements suggest that static and dynamic mirror deformation remains below the diffraction limit.
静电驱动扭转微镜静态拉入分析的解析闭合模型
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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作者：
H. Moeenfard;M. Ahmadian
通讯作者：
M. Ahmadian
用于啁啾脉冲相干激光雷达的步进凝视扫描的 MEMS 反向扫描镜
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
2021 IEEE Research and Applications of Photonics in Defense Conference (RAPID)
影响因子：
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作者：
A. Oliver;D. Dickensheets
通讯作者：
D. Dickensheets