Deposition-last lithographically defined epitaxial complex oxide devices on Si(100)

Deposition-last lithographically defined epitaxial complex oxide devices on Si(100)
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Si(100) 上最后沉积光刻定义的外延复合氧化物器件

DOI:
10.1116/6.0001939
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发表时间:
2022
影响因子:
2.9
通讯作者:
Ngai, J. H.
Ngai, J. H.
中科院分区:
材料科学2区
文献类型:
--
作者:
Chrysler, M.;Jiang, J. C.;Lorkowski, G.;Meletis, E. I.;Ngai, J. H.

文献摘要

参考文献

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