Diamond-like carbon films deposited by electron beam excited plasma chemical vapor deposition
Diamond-like carbon films deposited by electron beam excited plasma chemical vapor deposition
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电子束激发等离子体化学气相沉积沉积类金刚石碳薄膜
DOI：
10.1016/s0925-9635(01)00743-9
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发表时间：
2002
影响因子：
4.1
通讯作者：
J. Fujioka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Masahito Ban;M. Ryoji;T. Hasegawa;Yuki Mori;S. Fujii;J. Fujioka
影响因子：
3.2
作者：
Tada, S;Takashima, S;Sakamoto, Y
通讯作者：
Sakamoto, Y