Determination of thickness and optical constants of thin metal films with an extended ATR spectrum
Determination of thickness and optical constants of thin metal films with an extended ATR spectrum
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使用扩展 ATR 光谱测定金属薄膜的厚度和光学常数
DOI：
10.1088/0022-3727/41/15/155309
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发表时间：
2008-07
影响因子：
3.4
通讯作者：
G. Chen
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Q. S. Shen;J. H. Gu;Z. Q. Cao;G. Chen
扩展衰减全反射（ATR）光谱，其中包括一个表面等离子体共振（SPR）下降和全内反射（TIR）的步骤，被用来确定在一个给定的频率在传统的Kretschmann配置的薄金属膜的光学常数和厚度。先前的研究表明，可以从SPR倾角获得光学常数和厚度的两组解决方案，并且应该通过执行另一个角度扫描过程或采用更复杂的结构来消除歧义。然而，我们发现，真正的解决方案可以简单地选择一个新的参数，表示TIR阶跃变化。该方法不仅避免了双扫描技术带来的麻烦，而且避免了单扫描方法中由于附加聚合物膜的存在而增加的难度。
An extended attenuated total reflection (ATR) spectrum, which consists of a surface plasmon resonance (SPR) dip and a total internal reflection (TIR) step, is used to determine the optical constant and the thickness of a thin metal film at a given frequency in the conventional Kretschmann configuration. Previous research has shown that two sets of solutions for the optical constant and thickness can be obtained from a SPR dip, and ambiguity should be removed by carrying out another angular scan process or employing a more complicated structure. However, we find that the true solution can be simply selected by a new parameter that denotes the TIR step change. Our method can avoid not only the troubles caused by the double-scan techniques but also the increased difficulties due to the existence of an additional polymer film in a single-scan method.
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