4H-SiC VJFETs with Self-Aligned Contacts

4H-SiC VJFETs with Self-Aligned Contacts
复制标题

具有自对准触点的 4H-SiC VJFET

DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.821-823.793
复制
发表时间:
2015
期刊:
Materials Science Forum
影响因子:
--
通讯作者:
Zekentes K
Zekentes K
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Zekentes K

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

4H-SiC 静态感应晶体管的制造问题
DOI: --
发表时间: 2012
期刊:
影响因子: --
作者:
A. Stavrinidis;G. Konstantinidis;M. Kayambaki;F. Cayrel;D. Alquier;Zhuo Gao;K. Zekentes
通讯作者: K. Zekentes