Numerical analysis of RF discharge in a nonuniform magnetic field
Numerical analysis of RF discharge in a nonuniform magnetic field
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非均匀磁场中射频放电的数值分析
DOI：
10.1063/5.0071633
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and Takeru Furukawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xiang Ma;Hiroyuki Nishida;Yuya Oshio;and Takeru Furukawa
影响因子：
3.2
作者：
Y. Takao;Naoki Kusaba;K. Eriguchi;K. Ono
通讯作者：
Y. Takao;Naoki Kusaba;K. Eriguchi;K. Ono
DOI：
10.2322/tjsass.62.11
发表时间：
2019
影响因子：
1.1
作者：
K. Kubota;Y. Oshio;Hiroki Watanabe;Shinatora Cho;Y. Ohkawa;I. Funaki
通讯作者：
K. Kubota;Y. Oshio;Hiroki Watanabe;Shinatora Cho;Y. Ohkawa;I. Funaki