Laser-Induced front Side Etching: An Easy and Fast Method for Sub-μm Structuring of Dielectrics
Laser-Induced front Side Etching: An Easy and Fast Method for Sub-μm Structuring of Dielectrics
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激光诱导正面蚀刻：一种简单快速的亚微米电介质结构方法
DOI：
10.1016/j.phpro.2012.10.071
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Zimmer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
P. Lorenz;M. Ehrhardt;K. Zimmer
激光诱导正面蚀刻 (LIFE) 是一种用于电介质纳米精度结构的方法，例如电介质。熔融石英，使用薄金属和有机吸收层附着在样品的激光照射正面。使用波长为248nm、脉冲持续时间为25ns的准分子激光器作为激光源。对于亚微米图案化，由史瓦西物镜投射由顶帽激光束照射的相位掩模。 LIFE 工艺可以制造轮廓分明且光滑的表面结构，具有亚微米横向蚀刻区域 (Δx < 350nm) 和垂直蚀刻深度从 1 纳米到亚毫米。
Laser-induced front side etching (LIFE) is a method for the nanometer-precision structuring of dielectrics, e.g. fused silica, using thin metallic as well as organic absorber layer attached to the laser-irradiated front side of the sample. As laser source an excimer laser with a wavelength of 248nm and an pulse duration of 25ns was used. For sub-μm patterning a phase mask illuminated by the top hat laser beam was projected by a Schwarzschild objective. The LIFE process allows the fabrication of well-defined and smooth surface structures with sub-μm lateral etching regions (Δx < 350nm) and vertical etching depths from 1nm to sub-mm.
使用薄铬层利用 KrF 准分子激光器对熔融石英进行激光诱导正面蚀刻
DOI：
10.1002/pssa.201127672
发表时间：
2012
期刊：
physica status solidi (a)
影响因子：
--
作者：
P. Lorenz;M. Ehrhardt;K. Zimmer
通讯作者：
K. Zimmer