3-D measurement method based on Wavelet transform by using SEM

3-D measurement method based on Wavelet transform by using SEM
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使用SEM的基于小波变换的3D测量方法

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Y.Arai
Y.Arai
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K.Takagi;T.Yanai;K.Takahashi;M.Nakano;Y.Yoshizawa;H.Fukunaga;古荘純次;野中壮平;Y.Arai

文献摘要

参考文献

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