Low-loss silicon rectangular waveguides fabricated by anisotoropic wet etching for roughness reduction
Low-loss silicon rectangular waveguides fabricated by anisotoropic wet etching for roughness reduction
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采用各向异性湿法刻蚀降低粗糙度的低损耗硅矩形波导
DOI：
10.1109/group4.2015.7305962
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Arimoto H
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Arimoto H
高精度硅波导器件，设计用于 300mm-SOI 上的 1.31μm 和 1.55μm 波长
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
International Conference on Group IV Photonics
影响因子：
--
作者：
D. Shimura;T. Horikawa;H. Okayama;Seok;M. Tokushima;H. Sasaki;T. Mogami
通讯作者：
T. Mogami