On the Origin of Charge Compensation in Aluminum-Implanted n-Type 4H-SiC by Analysis of Hall Effect Measurements

On the Origin of Charge Compensation in Aluminum-Implanted n-Type 4H-SiC by Analysis of Hall Effect Measurements
复制标题

通过霍尔效应测量分析铝注入 n 型 4H-SiC 电荷补偿的起源

DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.963.433
复制
发表时间:
2019
期刊:
Materials Science Forum
影响因子:
--
通讯作者:
T. Erlbacher
T. Erlbacher
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
J. Weisse;M. Hauck;T. Sledziewski;M. Krieger;A. Bauer;H. Mitlehner;L. Frey;T. Erlbacher

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

深取代掺杂剂的激发态对半导体中多数载流子浓度的影响
DOI: --
发表时间: 2006
期刊:
影响因子: --
作者:
Hideharu Matsuura
通讯作者: Hideharu Matsuura
4H-SiC 中的低剂量 n 型氮注入
DOI: --
发表时间: 2002
期刊:
影响因子: --
作者:
N. Saks;S. Ryu;A. Suvorov
通讯作者: A. Suvorov
DOI: 10.7567/jjap.56.070306
发表时间: 2017-07-01
影响因子: 1.5
作者:
Fujihara, Hiroaki;Suda, Jun;Kimoto, Tsunenobu
通讯作者: Kimoto, Tsunenobu