Characterization of submicron-scale periodic grooves by grazing incidence ultra-small-angle X-ray scattering

Characterization of submicron-scale periodic grooves by grazing incidence ultra-small-angle X-ray scattering
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掠入射超小角 X 射线散射表征亚微米级周期性凹槽

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Japanese. Journal of Applied Physics 46
影响因子:
--
通讯作者:
S. Ikeda
S. Ikeda
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
Y. Ito;K. Inaba;K. Omote;Y. Wada;S. Ikeda

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: --
发表时间: 2006
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作者:
T.Edura
通讯作者: T.Edura
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