Structural Analysis of (211) 3C-SiC on (211) Si Substrates Grown by Chemical Vapor Deposition
Structural Analysis of (211) 3C-SiC on (211) Si Substrates Grown by Chemical Vapor Deposition
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化学气相沉积 (211) Si 衬底上 (211) 3C-SiC 的结构分析
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
S.Nishino
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T.Nishiguchi;Y.Mukai;M.Nakamura;K.Nishio;T.Isshiki;S.Ohshima;S.Nishino
影响因子:
3.2
作者:
S. Wright;H. Kroemer;M. Inada
通讯作者:
M. Inada