Structural Analysis of (211) 3C-SiC on (211) Si Substrates Grown by Chemical Vapor Deposition

Structural Analysis of (211) 3C-SiC on (211) Si Substrates Grown by Chemical Vapor Deposition
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化学气相沉积 (211) Si 衬底上 (211) 3C-SiC 的结构分析

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Materials Science forum 483-485
影响因子:
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通讯作者:
S.Nishino
S.Nishino
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
T.Nishiguchi;Y.Mukai;M.Nakamura;K.Nishio;T.Isshiki;S.Ohshima;S.Nishino

文献摘要

参考文献

被引文献

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