3D-measurement with the stereo scanning electron microscope on sub-micrometer structures
3D-measurement with the stereo scanning electron microscope on sub-micrometer structures
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使用立体扫描电子显微镜对亚微米结构进行 3D 测量
DOI：
10.2971/jeos.2010.10038s
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Reithmeier
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Vynnyk;Schultheis;Fahlbusch;Reithmeier
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L. Reimer
DOI：
--
发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
--
作者：
W. Słówko;W. Drzazga
通讯作者：
W. Drzazga