Unbalanced Magnetron Sputtering using Cylindrical Target for Low-temperature Optical Costing
Unbalanced Magnetron Sputtering using Cylindrical Target for Low-temperature Optical Costing
复制标题
使用圆柱形靶材的不平衡磁控溅射进行低温光学成本计算
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T.Hata
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
C.Wang;K.Sasaki;Y.Yonezawa;T.Hata
DOI：
10.1016/s0040-6090(01)01552-8
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
P. Reinig;V. Alex;F. Fenske;W. Fuhs;B. Selle
通讯作者：
B. Selle