Critical Aspects of High Temperature MOCVD Growth of AlN Epilayers on 6H-SiC Substrates
Critical Aspects of High Temperature MOCVD Growth of AlN Epilayers on 6H-SiC Substrates
复制标题
6H-SiC 衬底上 AlN 外延层高温 MOCVD 生长的关键问题
DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
J.Christen
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K.Balakrishnan;N.Fujimoto;T.Kitano;A.Bandoh;M.Imura;K.Nakano;M.Iwaya;S.Kamiyama;H.Amano;I.Akasaki;T.Takagi;T.Noro;K.Shimono;T.Riemann;J.Christen
影响因子:
4
作者:
K. Jeganathan;M. Shimizu;H. Okumura
通讯作者:
H. Okumura
DOI:
10.1002/pssc.200461615
发表时间:
2005
期刊:
Physica Status Solidi (c)
影响因子:
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作者:
C. Hallin;A. Kakanakova;P. Persson;E. Janzén
通讯作者:
E. Janzén