Critical Aspects of High Temperature MOCVD Growth of AlN Epilayers on 6H-SiC Substrates

Critical Aspects of High Temperature MOCVD Growth of AlN Epilayers on 6H-SiC Substrates
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6H-SiC 衬底上 AlN 外延层高温 MOCVD 生长的关键问题

DOI:
--
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发表时间:
2006
期刊:
Physica Status Solidi (c) 3, No.6
影响因子:
--
通讯作者:
J.Christen
J.Christen
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
K.Balakrishnan;N.Fujimoto;T.Kitano;A.Bandoh;M.Imura;K.Nakano;M.Iwaya;S.Kamiyama;H.Amano;I.Akasaki;T.Takagi;T.Noro;K.Shimono;T.Riemann;J.Christen

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